반도체 웨이퍼, 꼼꼼하게 검사하는 방법은? 초음파 vs X-ray 대결!반도체 웨이퍼, 아주 작지만 세상을 움직이는 작은 기판이죠. 이 작은 기판에 숨어있는 결함 하나가 전체 제품의 성능을 좌우할 수 있기 때문에, 꼼꼼한 검사는 필수입니다. 그렇다면 반도체 웨이퍼를 검사하는 방법에는 어떤 것들이 있을까요? 오늘은 초음파 검사와 X-ray 검사라는 두 가지 주요 방법을 비교해 보고, 각 방법의 특징과 장단점을 알아보도록 하겠습니다.1. 초음파 검사 (SAM: Scanning Acoustic Microscope)초음파 검사는 마치 의사가 초음파 기기를 이용하여 우리 몸 속을 들여다보는 것처럼, 고주파 음파를 웨이퍼에 투과시켜 내부 결함을 찾아내는 방법입니다.장점:민감도가 높아 아주 작은 균열이나 박리까지도 ..
